9月18日消息，张江高科(600895)、同飞股份、海立股份(600619)竞价涨停，富乐德、蓝英装备(300293)涨超10%，东方嘉盛(002889)、国林科技、京华激光(603607)、凯美特气(002549)。波长光电等涨超5%。
消息面上，工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。其中在电子专用装备目录下，集成电路生产装备包括氟化氩GKJ，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
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(责任编辑：宋政 HN002)
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